결정방향1 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer)의 종류 및 특징 1. 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer) 실리콘은 지각의 1/3정도로 매우 풍부하게 존재한다. 반도체 산업에 오랫동안 적용되어 상당한 발전이 이루어져 있는 재료이다. 독성이 없어 환경적으로도 우수하고, 비교적 고온에서도 소자가 동작할 수 있다는 장점도 있다. 종류는 크게 단결정 웨이퍼와 다결정 웨이퍼로 나뉜다. 2.1 단결정웨이퍼 폴리실리콘을 석영도가니에 넣고 불순물(B,P)을 함께 넣어 고온으로 용융시키면 원주모양의 단결정질 실리콘 잉곳이 완성된다. 이것을 얇게 절단한 것이 단결정 실리콘 웨이퍼다. 특징은 웨이퍼의 재료인 실리콘의 원자배열이 규칙적이며 배열 방양이 일정하여 전자 이동에 걸림이 없다. 2.2 다결정웨이퍼 폴리실리콘을 석영도가니에 넣고 높은 온도로 가열하여 녹인다. 액체상태가된 실리콘.. 2020. 4. 15. 이전 1 다음
